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中文名稱:硅烷 高純硅烷
產(chǎn)品純度:99.9999%
包裝規(guī)格:44L
充裝量:10公斤
英文名稱:silane
分子式:SiH4
序號 | 名稱 | 化學式 | 純度(%) | 壓力(Mpa) | 充裝量(m3/kg) | 閥門|螺紋出口 | 鋼瓶容積(L) | 鋼瓶尺寸(cm) | 鋼瓶皮重(kg) |
1 | 硅烷 |
SiH4 |
99.9999 | - | 10kg | CGA350/Diss632 | 44 | 23×140 |
70 |
項目名稱 | 雜質(zhì)含量(ppm) |
硅烷 純度指標(%) ≥99.9999 | |
氬氣(Ar) |
≤0.05 |
氯硅烷(Chlorosilane)) |
≤0.15 |
乙硅烷(Si2H6)) |
≤0.5 |
氦氣(He) |
≤1 |
一氧化碳(CO) |
≤0.05 |
氧氣(O2) |
≤0.05 |
氮氣(N2) |
≤1 |
氫氣(H2) |
≤20 |
二氧化碳(CO2) |
≤0.05 |
甲烷(CH4) |
≤0.05 |
碳(C) |
≤0.2 |
二氯二氫硅(SiH2Cl2) |
≤0.5 |
甲基硅烷(CH3Si) |
≤0.5 |
金屬離子(Metals) |
≤0.03 |
硅烷是1857年發(fā)現(xiàn)的,在之后100年左右的時間里哑芹,在工業(yè)生產(chǎn)中幾乎沒有任何用途炎辨。直到20世紀50年代,由于半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展聪姿,它才開始在電子工業(yè)生產(chǎn)中得到應(yīng)用碴萧。20世紀80年代半導(dǎo)體工業(yè)迅速發(fā)展,硅烷用量才迅速上升末购。1984年國際硅烷市場的銷量為70t勤消,1986年增加到110t美丝,每年以12%~15%的速度遞增。1990年全世界硅烷銷量為240t源糖。我國對硅烷的應(yīng)用起步較晚替塑,目前每年消耗量約數(shù)十噸。
隨著一系列新技術(shù)师晨、新產(chǎn)品的開發(fā)應(yīng)用看卦,除微電子工業(yè)外,硅烷已經(jīng)成為信息研神、新材料炼岖、能源和環(huán)境科學的基礎(chǔ)原料,是許多未來產(chǎn)業(yè)所必不可少的囊像。它在現(xiàn)代科學和現(xiàn)代工業(yè)中的地位顯得十分重要。
硅烷是一種無色卡竣、與空氣反應(yīng)并會引起窒息的氣體禾门。該氣體通常與空氣接觸會引起燃燒并放出很濃的白色的無定型二氧化硅煙霧。它對健康的首要危害是它自燃的火焰會引起嚴重的熱灼傷蝴韭,如果嚴重甚至會致命够颠。如果火焰或高溫作用在硅烷鋼瓶的某一部分會使鋼瓶在安全閥啟動之前爆炸。如果泄放硅烷時壓力過高或速度過快會引起滯后性的爆炸榄鉴。泄漏的硅烷如沒有自燃會非常危險履磨,不要靠近。處理緊急情況的人員必須要有個人防護設(shè)備和適應(yīng)當時情況的防火保護庆尘。不要試圖在切斷氣源之前滅火剃诅。
硅烷氣體無色,劇毒驶忌,易燃燒氣體矛辕,帶有令人生厭的大蒜味。
硅烷氣體用途:硅的外延生長付魔、多晶硅聊品、氧化硅、氮化硅等的原料几苍,太陽能電池翻屈,光導(dǎo)纖維,有色玻璃制造妻坝,化學氣相淀積奋肄。供應(yīng)高純硅烷氣體,硅烷氣體用于集成電路制造婉涌、太陽能電池量伏、涂膜反射玻璃等兴氧。
硅烷氣體理化性質(zhì): 硅烷在常溫常壓下為具有惡臭的無色氣體。在溫室下著火畴贵,在空氣或鹵素氣體中發(fā)生爆炸性燃燒厦冤。即使用其他氣體稀釋,如果濃度不夠低幅秉,仍能自燃奔豫。硅烷在氬氣中含2%,氮氣中含2.5%渠跷,氫氣中含1%袄洁,它仍能著火。硅烷濃度在小于1%時不燃收罢,大于3%時自燃晤泌,1%~3%時可能燃燒。
硅烷氣體注意事項:使用硅烷的工作場所要通風耕姊,保持室內(nèi)空氣干燥桶唐。硅烷裝置要嚴格密封,避免和空氣茉兰、水分相接觸尤泽,為此,用氣裝置在使用前要用惰性氣體置換里面的空氣后抽真空规脸,這樣反復(fù)進行置換和抽真空坯约,一定要徹底清除系統(tǒng)中的空氣和水分。裝置使用以后莫鸭,也要用惰性氣體置換清洗系統(tǒng)中的硅烷闹丐。可以用氦探漏器探漏黔龟。少量硅烷泄漏時妇智,從氧化硅粉末的折出中也可以得知。鋼瓶要存放在陰涼干燥通風良好之處氏身,要遠離熱源和氯巍棱、溴等氧化劑。工作場所要配備足夠的防護用品及應(yīng)急用品爱亡。硅烷無腐蝕性穴你,可以使用碳鋼、不銹鋼泊铸、銅乓收、黃銅、蒙乃爾者侄、耐蝕鎳基合金愧棋。也可用聚四氟乙烯兼峻、聚三氟氯化乙烯聚合體、尼龍罗和、三氟氯乙烯樹脂神深、聚乙烯、聚酯功哮、石英玻璃仅谍。不能用鉛、橡膠援奢、脂肪兼犯、潤滑油、玻璃集漾。凡是可燃性的有機高分子材料應(yīng)該避免使用切黔。當硅烷大量泄漏時。緊接著就要著火具篇,所以無法用滅火器滅火绕娘。但是可以控制火勢,使火災(zāi)不向周圍蔓延栽连。燃燒時輻射熱不太高,所以應(yīng)盡可能去關(guān)閉閥門以止住氣體的流出侨舆∶虢簦可用白雪石粉或石墨粉熄火。廢氣可用水或堿吸收挨下,或者在特殊燃燒器中燃燒成SiO2之后用專門的過濾器捕捉熔恢。儲存于陰涼、通風的庫房臭笆。遠離火種叙淌、熱源。庫溫不宜超過30℃持沛。應(yīng)與易(可)燃物摆咽、氧化劑分開存放,切忌混儲汇凌。儲區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備种功。密閉操作,局部排風蚪教。操作人員必須經(jīng)過專培訓共吞,嚴格遵守操作規(guī)程。建議操作人員佩戴過濾式防毒(半面罩)畅镐。遠離易燃铡急、可燃物编漆。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。避免與氧化劑接觸径露。搬運時輕裝輕卸跌蛔,防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備赞辩。
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