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三氟甲烷肌访,又稱三氟甲找默,是一種無色、微味吼驶,不導(dǎo)電的氣體惩激,是理想的鹵代烷替代物。
項目名稱 | 純度指標(biāo)(%) | |
三氟甲烷 |
≥99.999 |
|
雜質(zhì)含量(ppm)
|
水(H2O) |
≤3 |
氧氣(O2) |
≤2 |
|
氮氣(N2) |
≤5 | |
二氧化碳(H2SiF6) |
≤3 |
|
酸度(Acidity) |
≤0.1 |
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